نظام PECVD ثلاثي المناطق للتدفئة 1200C
نظام PECVD ثلاثي المناطق للتدفئة 1200C

نظام PECVD ثلاثي المناطق للتدفئة 1200C

SK2-CVD-12TPB4 هو فرن أنبوبي لنظام PECVD، يتكون من مصدر طاقة RF بقوة 300 وات أو 500 وات، ونظام تدفق دقيق متعدد القنوات، ونظام فراغ، وفرن أنبوبي. درجة الحرارة المستخدمة بشكل شائع هي 1100 درجة مئوية أو أقل، وخصائصه الرئيسية هي درجة حرارة الترسيب المنخفضة، والسرعة السريعة، وجودة الفيلم الجيدة، وعدد أقل من الثقوب الدقيقة، وأقل عرضة للتشقق. جهاز مثالي لزراعة الأسلاك النانوية أو تحضير الأغشية الرقيقة المختلفة باستخدام طريقة CVD.
إرسال التحقيق
ميزة

 

● أقصى درجة حرارة RT-1200 درجة

● نوع الفرن المنقسم، يمكنك فتح الفرن.

● يمكن إدخال أكثر من قناتين من الغاز، بدرجة فراغ تبلغ 10 باسكال باستخدام مضخة ميكانيكية ومصدر طاقة RF بقوة 500 وات لتعزيز الإشارة.

● مواد عزل ألياف السيراميك المصنوعة من الألومينا عالية الجودة

● دقة التحكم في درجة الحرارة ±1 درجة

● مع وظيفة إنذار ارتفاع درجة الحرارة

● يمكن لمروحة التبريد أن تقلل من درجة حرارة الغلاف

 

نموذج

SK٪7b٪7b0٪7d٪7dCVD٪7b٪7b1٪7d٪7dTPB4

الأبعاد: طول منطقة التدفئة القياسية (مم)

440 ملم

الأبعاد: قطر الأنبوب القياسي (مم)

∮60 مم

الحد الأقصى لدرجة الحرارة

1200 درجة، درجة حرارة العمل المستمر 1100 درجة.

الجهد(فولت)

220 1P

نوع الثرموكبل

K

عنصر التسخين

سلك مقاومة سبائك HRE

دقة درجة الحرارة

±1 درجة

معدل التسخين

0-30 درجة /دقيقة تعديل مجاني

مادة الغرفة

استخدام مادة الألياف الدقيقة الألومينا عالية الجودة المتقدمة

هيكل الفرن

هيكل تبريد الهواء مزدوج الطبقة، درجة حرارة السطح أقل من 60 درجة

جهاز التحكم في درجة الحرارة

أداة التحكم في درجة الحرارة الذكية PID، 30 مقطع برنامج، التحكم SSR، وظيفة ضبط ذاتي لمعلمة PID؛ برمجة ارتفاع درجة الحرارة، برمجة الحفاظ على الحرارة، برمجة التبريد

مزود طاقة RF بقوة 500 واط

قوة الخرج: 5-500 وات ±1 درجة

تردد التردد اللاسلكي: 13.56 ميجا هرتز ±0.005%

الطاقة المنعكسة: تصل إلى 100 واط

المباراة: أوتوماتيكية

واجهة RF: 50Ω، نوع N

التبريد: تبريد الهواء

مصدر الطاقة: تيار متردد 208-240 فولت، 50/60 هرتز

نظام تدفق دقيق بأربع قنوات غاز

1. معدل التدفق الكامل (5، 10، 30، 50، 100، 200، 300، 500) مل/دقيقة. 10 لتر/دقيقة.

2. نوع الصمام: صمام Solenold.

3. موضع مسند الصمام: مغلق عادة.

4. الضغط التفاضلي: (50-300)كيلو باسكال

5. مقاومة الضغط: 3 ميجا باسكال.

6. درجة حرارة التشغيل: 5-45 درجة

7. المواد: الفولاذ المقاوم للصدأ 316L.

نظام الشفط

5*10-3باسكال

KF25 توصيل سريع، منفاخ من الفولاذ المقاوم للصدأ، صمام رفرف يدوي وحافة، مضخة فراغ

يمكن أيضًا تجهيز أنظمة الفراغ الأعلى بشكل اختياري.

image001

مرحبا بكم OEM/ODM

 

ملحقات قياسيه

 

قفازات حرارية|خطاف بوتقة|ترموكبل|كتلة أنبوب|دليل المستخدم|أدوات|مضخة تفريغ|أنبوب كوارتز|حافة|حلقة مانعة للتسرب|خرطوم غاز 10 مم|دعم الحافة، نظام الغاز، طاقة التردد اللاسلكي.

 

خياري

 

منطقة تدفئة مختلفة حسب اختيارك؛

التحكم في شاشة اللمس LCD للاختيار

منفذ RS485/USB لتوصيل الكمبيوتر حسب الاختيار.

 

صورة تفصيلية لـ CVD-PECVD

 

image003
مزود طاقة RF بقوة 500 واط
image005
نظام الشفط
image007
نظام تدفق دقيق بأربع قنوات غاز

 

طلب

 

يستخدم هذا الجهاز بشكل أساسي في زراعة الأسلاك النانوية أو تحضير نمو الأغشية الرقيقة المختلفة باستخدام طريقة الترسيب الكيميائي البخاري.

 

ضمان

 

ضمان لمدة عام ودعم فني مدى الحياة

نصائح خاصة:

1. المواد الاستهلاكية مثل عنصر التسخين وأنبوب الكوارتز ووعاء العينة وما إلى ذلك ليست ضمن فترة الضمان.

2. لا يشمل الضمان الأضرار الناجمة عن استخدام الغازات المسببة للتآكل والغازات الحمضية.

 

الوسم : نظام 1200c ذو ثلاث مناطق تسخين PECVD، مصنعو وموردو نظام 1200c ذو ثلاث مناطق تسخين PECVD في الصين