فرن الفراغ، أي في المساحة المحددة لغرفة الفرن، يتم استخدام نظام الفراغ (يتم تجميعه بعناية بواسطة مضخة الفراغ، وجهاز قياس الفراغ، وصمام الفراغ والمكونات الأخرى) لتفريغ جزء من المواد الموجودة في غرفة الفرن، بحيث يكون الضغط في غرفة الفرن أقل من الضغط الجوي القياسي، ويتم استخدام المساحة الموجودة في غرفة الفرن لتحقيق حالة الفراغ، وهي فرن الفراغ.