1200C 3 مناطق تسخين CVD فرن أنبوبي دوار مفرغ

احتياطات الاستخدام:
لا يمكن أن يكون ضغط الغاز في أنبوب الفرن أعلى من 0.02MPa
· بسبب ارتفاع ضغط الغاز داخل أسطوانة الغاز يجب تركيب صمام تخفيض الضغط على أسطوانة الغاز عند إدخال الغاز إلى أنبوبة الفرن. لضمان السلامة، يوصى باستخدام ضغط أقل من 0.02 ميجا باسكال. يوصى بشراء صمام تخفيض الضغط من شركتنا. نطاق صمام تخفيض الضغط الخاص بشركتنا هو 0.01MPa-0.1MPa، والذي سيكون أكثر دقة وأمانًا عند استخدامه. عندما تكون درجة حرارة جسم الفرن أعلى من 1000 درجة، لا يمكن أن يكون أنبوب الفرن في حالة فراغ، ويجب أن يكون ضغط الغاز في أنبوب الفرن معادلاً للضغط الجوي.
· يجب أن يكون معدل تدفق الغاز الداخل إلى أنبوب الفرن أقل من 200 SCCM لتجنب تأثير تدفق الهواء البارد على أنبوب الكوارتز الساخن.
·درجة حرارة استخدام أنبوب الكوارتز على المدى الطويل- هي<1100℃.
· بالنسبة لتجربة تسخين العينة، لا يوصى بإغلاق صمام العادم وصمام مدخل الهواء عند طرف شفة أنبوب الفرن. إذا كنت بحاجة إلى إغلاق صمام الغاز لتسخين العينة، فيجب عليك الانتباه إلى مقياس الضغط في جميع الأوقات. إذا كانت قراءة الضغط أكبر من 0.02 ميجا باسكال، فيجب عليك فتح صمام تصريف الهواء على الفور لمنع وقوع الحوادث (مثل تمزق أنبوب الفرن، وتطاير الشفة، وما إلى ذلك).