فرن الفراغ، أي في المساحة المحددة لغرفة الفرن، يتم استخدام نظام الفراغ (يتم تجميعه بعناية بواسطة مضخة الفراغ، وجهاز قياس الفراغ، وصمام الفراغ والمكونات الأخرى) لتفريغ جزء من المواد الموجودة في غرفة الفرن، بحيث يكون الضغط في غرفة الفرن أقل من الضغط الجوي القياسي، ويتم استخدام المساحة الموجودة في غرفة الفرن لتحقيق حالة الفراغ، وهي فرن الفراغ.
فرن الفراغ هو جهاز يسخن في بيئة فراغية. يتم توصيل حجرة الفرن بنظام مضخة الفراغ العالي في فرن مغلق بغطاء معدني أو زجاجي كوارتز. يمكن أن تصل درجة فراغ الفرن إلى 133 × (10-2~10-4) باسكال. يمكن تسخين نظام التسخين في الفرن مباشرة عن طريق التسخين الكهربائي لسلك فرن المقاومة (مثل سلك التنغستن)، أو يمكن تسخينه عن طريق الحث عالي التردد. يمكن أن تصل درجة الحرارة القصوى إلى حوالي 3000 درجة. يستخدم بشكل أساسي في إطلاق السيراميك، وصهر الفراغ، وإزالة الغازات، وتليين الأجزاء الكهربائية الفراغية، ولحام الأجزاء المعدنية، وختم السيراميك والمعدن.
