يتكون الفرن الفراغي بشكل عام من المحرك الرئيسي وحجرة الفرن وجهاز التسخين الكهربائي وغطاء الفرن المحكم ونظام الفراغ ونظام إمداد الطاقة ونظام التحكم في درجة الحرارة ومركبة النقل الخارجية. يتم لحام غطاء الفرن المحكم من الفولاذ الكربوني أو الفولاذ المقاوم للصدأ، ويتم غلق الأسطح المشتركة للأجزاء القابلة للفصل بمادة مانعة للتسرب بالفراغ. ولمنع تشوه غطاء الفرن بعد التسخين وتدهور مادة الختم عند التسخين، يتم تبريد غطاء الفرن بشكل عام بالماء أو التبريد بالهواء. تقع غرفة الفرن داخل غطاء فرن محكم الغلق. اعتمادًا على غرض الفرن، يتم تجهيز غرفة الفرن بأنواع مختلفة من عناصر التسخين، مثل المقاومات وملفات الحث والأقطاب الكهربائية والمسدسات الإلكترونية. يتم تجهيز أفران التفريغ لصهر المعادن ببوتقات، وبعضها مزود بأجهزة صب أوتوماتيكية ومناورات للتحميل والتفريغ. يتكون نظام التفريغ بشكل أساسي من مضخة تفريغ وصمام تفريغ ومقياس فراغ.