أفران التفريغ هي أفران معالجة حرارية بالتفريغ، وتنقسم وفقًا لمعدات التطبيق وتشمل الأنواع التالية:
فرن التبريد الفراغي، فرن اللحام الفراغي، فرن التلدين الفراغي، فرن المغناطيسية الفراغية، فرن التقسية الفراغية، فرن التلبيد الفراغي، فرن اللحام الانتشاري الفراغي، فرن الكربنة الفراغية، إلخ.
وفقا لطريقة التسخين، يتم تقسيم الفرن الفراغي إلى فرن مقاومة الفراغ، فرن الحث الفراغي، فرن القوس الكهربائي الفراغي، فرن القوس الكهربائي ذاتي الاستهلاك الفراغي، فرن شعاع الإلكترون (المعروف أيضًا باسم فرن القصف الإلكتروني) وفرن البلازما.